LG디스플레이는 세계 최초로 기판을 부상 반송하며 코팅하는 당비인 '초음파 플로팅 코터' 개발에 성공했다고 8일 밝혔다. 

LG디스플레이가 새로 개발한 '초음파 플로팅 코터'는 디스플레이 제조를 위한 박막트랜지스터(TFT), 컬러필터 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정에 초음파를 적용했다.

사진 식각 과정은 빛에 반응하는 감광성고문자 물질인 포토레지스트(PR)를 얇게 도포한 후 원하는 마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 사진을 인화하는 것과 같이 회로를 형성하는 것을 뜻한다.

'초음파 플로팅 코터'는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동되는데, 단순한 장비 구조로 유지·보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다.

특히 그동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터보다 초음파 플로팅 코터는 기계 한대당 37%(14억원) 가량 저렴해, 상당 수준의 비용이 절감될 것으로 예상된다. 

더불어 초음파 플로팅 코터를 8세대 제조 공정에 고입할 경우 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 전망된다.

정철동 LG디스플레이 생산최고책임자(CPO) 부사장은 "그동안 국내 협력사들과 LCD의 장비 및 부품 국산화를 위한 공동기술 개발에 노력해 세계 최초로 초음파 플로팅 코터 장비를 개발하는 성과를 이뤄냈다"며 "앞으로 협력사와의 상생을 통해 디스플레이 업계 경쟁력 확보에 더욱 노력하겠다"고 밝혔다.